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高精度光纖定位：在整片晶圓上對(duì)所有V型槽進(jìn)行同步加工，實(shí)現(xiàn)48、96及更多通道數(shù)下，累積pitch公差或絕對(duì)網(wǎng)格誤差低至 ±0.250 μm。
先進(jìn)的V型槽工藝：提供更高設(shè)計(jì)靈活度，同一陣列內(nèi)可實(shí)現(xiàn)不同的間距與表面結(jié)構(gòu)（V/U 型、凸面、凹面、自由曲面等）的同步加工。
可集成機(jī)械定位結(jié)構(gòu)：支持被動(dòng)對(duì)準(zhǔn)和高精度裝配，實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)與功能一體化。
晶圓級(jí)全檢：通過幾何測(cè)量與接觸點(diǎn)測(cè)量，對(duì)關(guān)鍵性能參數(shù)進(jìn)行 100% 檢測(cè)并分析所有的光纖中心位置。
多種性能等級(jí)可選：可根據(jù)客戶需求和應(yīng)用場(chǎng)景，提供標(biāo)準(zhǔn)精度版本和高精度版本。
成熟的量產(chǎn)平臺(tái)：依托20余年大批量光學(xué)制造經(jīng)驗(yàn)，具備穩(wěn)健、高度可擴(kuò)展的生產(chǎn)能力。
技術(shù)指標(biāo)
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光纖定位與性能相關(guān)參數(shù) (1) |
標(biāo)準(zhǔn)精度版本 |
高精度版本 |
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V型槽陣列 X 方向誤差 (2) (4) |
< 500 nm |
< 250 nm |
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V型槽陣列 Y 方向誤差 (3) (4) |
< 750 nm |
< 350 nm |
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V型槽線性定位精度 (4) |
± 0.010 mm |
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V型槽間距公差 (X 方向) (4) |
± 500 nm |
± 200 nm |
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側(cè)壁垂直度 (5) |
90 ± 0.3° |
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V型槽表面粗糙度 (Ra) |
< 0.2 μm |
< 0.02 μm |
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V型槽深度 |
可自由定制 |
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V型槽角度 |
60°、90°或定制 |
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V型槽角度公差 |
< ± 2° |
< ± 1° |
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V型槽間距（X 方向） |
0.127 mm、0.250 mm，或定制；同一產(chǎn)品上可實(shí)現(xiàn)多種間距 |
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產(chǎn)品尺寸與材料 |
? |
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長(zhǎng)度 / 寬度尺寸（圓形或方形） |
最大可達(dá) 300 mm |
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長(zhǎng)度 / 寬度公差 |
± 0.025 mm |
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厚度公差 |
± 0.050 mm |
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平臺(tái)高度 (Plateau) |
3 0.100 mm |
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平臺(tái)高度 (Plateau) 公差 |
± 0.020 mm |
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通道數(shù) |
8、16、32 (36)、48、96、128 或定制 |
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表面質(zhì)量 – V型槽區(qū)域 |
5/ E0.1，如有需要可進(jìn)一步減少崩邊 |
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表面質(zhì)量 – 外緣區(qū)域 |
5/ E0.1，如有需要可進(jìn)一步減少崩邊 |
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材質(zhì) |
Borofloat 33、熔融石英、S-TIH53、S-BSL7（及類似材料如 N-BK7）、硅；其他無毒光學(xué)玻璃可按需提供 |
注:
(1) 多個(gè)參數(shù)之間存在相互影響，并非需要全部進(jìn)行評(píng)估、報(bào)告或作為驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。如需更多信息或詢問超出規(guī)格的需求，請(qǐng)與我們聯(lián)系。
(2) 相對(duì)于標(biāo)稱位置的橫向偏差，或水平方向上的真實(shí)定位公差。
(3) 相對(duì)于標(biāo)稱位置的縱向偏差，或垂直方向上的真實(shí)定位公差。
(4) 以嵌入光纖的中點(diǎn)為基準(zhǔn)。
(5) V型槽 pitch 軸與前表面之間的垂直度。
應(yīng)用領(lǐng)域
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